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《光学光刻和极紫外光刻》是一本Z新的光刻技术专著,内容涉及该领域的各个重要方面。在介绍光刻技术应用上,涵盖了全面又丰富的内容;在论述光刻技术的物理机制和数学模型时,采用了完整而不繁琐的方法,增加了可读性。本书在系统地阐述了光学光刻技术的基本内容后,还专门开辟章节,介绍了最先进的极紫外光刻技术的特点和难点,揭示了极紫外光刻的技术奥秘。本书具有全面、完整、翔实和新颖的特点,它凝聚了作者三十多年光刻领域科研和教学的精华。
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书籍介绍
《光学光刻和极紫外光刻》是一本Z新的光刻技术专著,内容涉及该领域的各个重要方面。在介绍光刻技术应用上,涵盖了全面又丰富的内容;在论述光刻技术的物理机制和数学模型时,采用了完整而不繁琐的方法,增加了可读性。本书在系统地阐述了光学光刻技术的基本内容后,还专门开辟章节,介绍了最先进的极紫外光刻技术的特点和难点,揭示了极紫外光刻的技术奥秘。本书具有全面、完整、翔实和新颖的特点,它凝聚了作者三十多年光刻领域科研和教学的精华。
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书籍真实打分
故事情节:4分
人物塑造:8分
主题深度:5分
文字风格:6分
语言运用:7分
文笔流畅:4分
思想传递:9分
知识深度:4分
知识广度:9分
实用性:8分
章节划分:7分
结构布局:5分
新颖与独特:6分
情感共鸣:6分
引人入胜:6分
现实相关:5分
沉浸感:4分
事实准确性:5分
文化贡献:8分