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《等离子体放电原理与材料处理》全面深入地介绍等离子体物理和化学的基本原理,以及工业等离子体材料处理的原理,并应用基本理论分析各种常见等离子体源的放电状态。书中还介绍半导体材料的刻蚀、薄膜沉积,离子注入等低温等离子体在材料处理方面的应用,反映本领域的最新研究进展。《等离子体放电原理与材料处理》共18章,内容包括等离子体的基础知识、等离子体放电过程中的粒子平衡和能量平衡、容性和感性放电、波加热的气体放电、直流放电、刻蚀、沉积与注入、尘埃等离子体,以及气体放电的动理论等。
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书籍介绍
《等离子体放电原理与材料处理》全面深入地介绍等离子体物理和化学的基本原理,以及工业等离子体材料处理的原理,并应用基本理论分析各种常见等离子体源的放电状态。书中还介绍半导体材料的刻蚀、薄膜沉积,离子注入等低温等离子体在材料处理方面的应用,反映本领域的最新研究进展。《等离子体放电原理与材料处理》共18章,内容包括等离子体的基础知识、等离子体放电过程中的粒子平衡和能量平衡、容性和感性放电、波加热的气体放电、直流放电、刻蚀、沉积与注入、尘埃等离子体,以及气体放电的动理论等。
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书籍真实打分
故事情节:7分
人物塑造:8分
主题深度:9分
文字风格:4分
语言运用:8分
文笔流畅:9分
思想传递:9分
知识深度:8分
知识广度:5分
实用性:9分
章节划分:5分
结构布局:6分
新颖与独特:7分
情感共鸣:8分
引人入胜:3分
现实相关:4分
沉浸感:5分
事实准确性:5分
文化贡献:8分