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柠檬书坊 -经济 -等离子体放电原理与材料处理

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等离子体放电原理与材料处理书籍详细信息

  • ISBN：9787030186591
  • 作者：暂无作者
  • 出版社：暂无出版社
  • 出版时间：2007-3
  • 页数：535
  • 价格：75.00元
  • 纸张：暂无纸张
  • 装帧：暂无装帧
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  • 语言：未知
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内容简介：

《等离子体放电原理与材料处理》全面深入地介绍等离子体物理和化学的基本原理，以及工业等离子体材料处理的原理，并应用基本理论分析各种常见等离子体源的放电状态。书中还介绍半导体材料的刻蚀、薄膜沉积，离子注入等低温等离子体在材料处理方面的应用，反映本领域的最新研究进展。《等离子体放电原理与材料处理》共18章，内容包括等离子体的基础知识、等离子体放电过程中的粒子平衡和能量平衡、容性和感性放电、波加热的气体放电、直流放电、刻蚀、沉积与注入、尘埃等离子体，以及气体放电的动理论等。

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书籍介绍

《等离子体放电原理与材料处理》全面深入地介绍等离子体物理和化学的基本原理，以及工业等离子体材料处理的原理，并应用基本理论分析各种常见等离子体源的放电状态。书中还介绍半导体材料的刻蚀、薄膜沉积，离子注入等低温等离子体在材料处理方面的应用，反映本领域的最新研究进展。《等离子体放电原理与材料处理》共18章，内容包括等离子体的基础知识、等离子体放电过程中的粒子平衡和能量平衡、容性和感性放电、波加热的气体放电、直流放电、刻蚀、沉积与注入、尘埃等离子体，以及气体放电的动理论等。

书籍真实打分

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  • 思想传递：6分

  • 知识深度：7分

  • 知识广度：5分

  • 实用性：8分

  • 章节划分：7分

  • 结构布局：5分

  • 新颖与独特：4分

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等离子体放电原理与材料处理分类索引数据信息

ISBN：9787030186591
出版社：暂无出版社
出版日期：2007-3
作者：暂无作者
TAGS：暂无
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